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微粒子測定器（パーティクルカウンター）とは、空気中または液体の中にある不純物や微粒子等を測定数機械の事を指します。主な機能としては測定器の中を通過する空気或いは液体の中にレーザー光を当てて散乱光を発し、その反射によって中に含まれる微粒子の数を特定するというものです。基本的に粒子の大きさが大きいほど光の反射は強くなり、その光の強さ大きさを電気信号によって測定、それを数値化します。測定の際には出来るだけ不純物のない空間が的しており、それによってクリーンルーム等の空間の微粒子の測定等によく使われています。

この微粒子測定器には二つの国政基準が設けられており、クリーンルームの清浄度を計る場合にはクリーンルーム清浄度規格、及び光散乱式気中粒子系数器・構成方法及び検出方法の規格を満たしいていないと測定する事は出来ません。主な規格試験内容としては、「計算効率」「偽系数」「粒径分解能」が算出される事となっています。

計算効率とは、微粒子測定器が測定できる粒子の数の多さが基準となっており、実際にある粒子の数からどれだけの数を検出できるかの測定効率を試験する内容となっています。偽係数とは、微粒子測定器が測定できる最小係数、所謂一番小さい粒子をノイズを通してどれだけ正確に測定できるかという試験となっています。粒径分解能とは、微粒子測定器が様々な大きさの粒子をどれだけ正確に見分ける事ができるかという試験です。より精度の高い測定を行うためにより平均的な測定値を算出する試験となっています。そして微粒子測定器は、空気或いは液体の中の微粒子を測定する機器として様々な用途で使われています。

精密機器の多い自動車業界から医療、食品、液晶そして製薬等。それぞれの業種に合わせて様々な形があり、操作方法も遠隔操作やタッチパネル、また測定期間も単一の物から連続での監視まで様々となっており、微粒子測定器を求める場合にはより業種に合った製品を選ぶことが必要となってくるでしょう。